当研究室では、このたび電子線誘導起超音波顕微鏡システム
SEAM(Scanning Electron-induced Acoustic Microscopy)を開発し、
表面直下のサブミクロンから数ミクロン下に存在する欠陥や内部構造の変化を非破壊的に検出する観察申し込みを受け付けています。多層薄膜の界面はく離やポアの欠陥検出が非破壊的に観察できます。

問い合わせ先 ： 渋谷陽二 (sibutani@mech.eng.osaka-u.ac.jp)まで

ナノコイル 　点照射によって作製． 　直径940nmの円を80分割した． 　1点あたりの照射時間は2.5sec

• ＊集束イオンビーム支援デポジション
• （FIB-CVD: Focused Ion Beam Chemical Vapor Deposition）
• 一次イオンを試料に照射すると、二次電子が発生する．この二次電子が化合物ガスの分解に寄与し、化合物ガスが気体成分と固体成分に分離する．気体成分は真空排気されるが，固体成分は試料表面に堆積する．これによって、イオンビームの照射領域を決定することにより，選択的にデポジションを行うことができる．

世界最小の阪大マーク 　上記のコイルと同様にイオンビームを照射し，フェナトレンガスをあらかじめ決められた形に吹き付けることにより，任意の構造物を作成。

• 走査型電子顕微鏡(SEM)の電子ビームを応用した電子線誘起超音波顕微システム(Scanning Electron Beam-induced Acoustic Microscopy; SEAM)を開発し，SEMの分解能を保持したまま，非破壊的に材料の内部観察を可能にしました．

SEM像	EAI（内部）像
Fig.1 ケイ素鋼板*における結晶粒界の観察
Fig.2 TRIP鋼板**におけるマルテンサイト相の観察
* 結晶粒径が2〜5mm，方位差3%以内で，厚さ0.28mmの冷間圧延した一方向性3%ケイ素鋼板 　 **準安定オーステナイト系ステンレス鋼SUS304を対象とした低温での単軸引張試験を実施し， 　 マルテンサイト相変態を起こした鋼板

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• インプラント(人工歯根)植立の力学解析を行ったことに端を発して， 日本骨膜下インプラント研究会と共同で歯科咬合力学の確立をめざした研究をかねてより行っておりましたが、このたび、その成果・技術を生かした医療機器として「オーラルコンパス」「レインボープロッター」をアコオ機工が製作・販売することになりました。
  以下に関連した新聞記事を掲載します。（写真をクリックしてください）

日刊工業新聞 2002年3月1日 総義歯製作を効率化	神戸新聞 2003年7月27日 歯科治療の拠点設置	日経産業新聞 2003年8月6日 入れ歯用製図機	日刊工業新聞 2003年8月12日 咬合用コンパス開発	日経産業新聞 2003年11月17日 神戸にバイオ企業